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懸臂梁是一種一端是固定支座,另一端為自由端的器件,因其具有較高的敏感性、精確性、穩定性等特點,廣泛被應用于氣體傳感器、化學傳感器等。懸臂梁的設計和工藝加工成熟度直接影響其性能,原位芯片憑借其豐富的設計及加工經驗,為客戶提供定制化的懸臂梁設計及加工服務。

應用范圍


利用懸梁的諧振頻率或相位參數,可以測量壓力、真空度、加速度等物理量。

工藝能力


 加工線寬:百納米-百微米  加工材料:硅、SOI、氮化硅  懸梁類型:靜電驅動、加熱型、加電型

我們的優勢


 結合材料廣泛  設計經驗豐富  釋放工藝成熟

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